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        日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐

        更新時(shí)間:2024-11-20

        簡要描述:

        合測實(shí)業(yè)為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級代理商/特約經(jīng)銷商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

        型號:廠商性質(zhì):代理商瀏覽量:1781

        日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn):

        潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

        最高工作溫度500℃。

        采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

        高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2 消耗量極低。

        磁密封保持高氣密性,采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

        可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。

        標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對氣體進(jìn)行冷卻回收。

        日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù):

        型號DTN450CDTN650C
        外形尺寸(寬× 深× 高mm)1240×1010×1750 1450×1060×1960
        內(nèi)尺寸(寬× 深× 高mm)450×450×450660×500×660
        內(nèi)部容積91L216L
        溫度范圍室溫+50 ~ 500℃
        溫度調(diào)節(jié)精度±1.0℃(at500℃)
        溫度分布精度±8.0℃(at500℃)
        最高溫度到達(dá)時(shí)間約110 分
        氧濃度20ppm 以下
        氧濃度到達(dá)時(shí)間≤ 20 分(250L/min 氮?dú)猓?/td>≤ 25 分(250L/min 氮?dú)猓?/td>
        潔凈度溫度恒定時(shí)100 級
        加熱方式不銹鋼加熱管
        冷卻機(jī)構(gòu)不銹鋼冷卻水換熱器
        HEPA 過濾器集塵效率:0.3um 粒子99.97% 以上
        排氣口40KF 法蘭
        氮?dú)馊肟?/td>Rc1/2
        冷卻水入口Rc3/4
        熱水出口Rc3/4,2 個(gè)
        電源(50/60Hz)額定電流  3 相AC380V 20A3 相AC380V 27A

        安全性:

        門檢測開關(guān)

        溫度過升防止器

        氧濃度異常安全裝置

        氮?dú)鈮毫z測

        氮?dú)饬髁繖z測

        冷卻水流量檢測

        漏水傳感器

        過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)


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